X射線衍射儀XRD是傳統(tǒng)X射線粉末衍射儀的優(yōu)化版，通過成熟的工藝技術(shù)，配合Laue Camera 801/802，可實現(xiàn)對單晶樣品的高精度測量。XRD分析物質(zhì)X射線衍射的儀器，形式多種多樣，用途各異，儀器其硬件主要有X射線光源、衍射信號檢測系統(tǒng)及數(shù)據(jù)處理和打印圖譜系統(tǒng)等幾部分構(gòu)成。
X射線衍射儀XRD的X射線光源在晶體衍射實驗中，常用的X射線管按其結(jié)構(gòu)設(shè)計的特點可分為三種類型：
1.可拆式管
這種X射線管在動真空下工作，配有真空系統(tǒng)，使用時需抽真空使管內(nèi)真空度達到10-5毫帕或更佳的真空度。不同元素的靶可以隨時更換，燈絲損壞后也可以更換。
2.密封式管
這是常使用的X射線管，它的靶和燈絲密封在高真空的殼體內(nèi)。殼體上有對X射線“透明”的X射線出射“窗口”-鈹窗口。這種管子使用方便，但靶和燈絲不能更換。若燈絲燒斷后管子也就報廢了，其壽命一般為1000-2000小時。
3.轉(zhuǎn)靶式管
這種管采用一種特殊的運動結(jié)構(gòu)以大大增強靶面的冷卻，即所謂旋轉(zhuǎn)陽極X射線管，是目前實用的高強度X射線發(fā)生裝置。管子的陽極設(shè)計成圓柱體形，柱面作為靶面，陽極需要用水冷卻。這種管的功率能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過前兩種管子。對于銅或鉬靶管，密封式管的額定功率，一般只能達到2-3kW，而轉(zhuǎn)靶式管高達90KW。
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