掃描電子顯微鏡(簡稱掃描電鏡)是一種大型精密儀器，主要結構包括電子光學系統、信號收集、圖像顯示和記錄系統、真空系統，是機械學、光學、電子學、熱學、材料學、真空技術等多門學科的綜合應用。

 

掃描電鏡是一種新型的電子光學儀器，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。二次電子能夠產生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。

 

掃描電鏡分類方法：

 

1、按照電子槍種類分：鎢絲槍、六硼化鑭、場發射電子槍(冷場發射、熱場發射);

2、按照樣品室的真空度分：高真空模式、低真空模式、環境模式(冷熱高壓低壓等等);

3、按照真空泵分：油擴散泵、分子泵;

4、按照自動化程度分：自動、手動;

5、按照操作方式分：旋鈕操作、鼠標操作;

6、按照電器控制系統分：模擬控制、數字控制;

7、按照圖像顯示系統分：模擬顯像、數字顯像。